PuolijohdekemiaLaajuus (3 op)

Osaamistavoitteet

Opiskelija tietää kemiallisen reaktion nopeuteen vaikuttavat tekijät. Opiskelija on tietoinen erilaisista ohutkalvoista ja niiden kasvatusmenetelmistä.

Opiskelija osaa laskea yksinkertaisia reaktionopeuslaskuja liittyen plasmaetsaukseen ja CVD-tekniikkaan.

Sisältö

Kemiallisen reaktion nopeus, reaktiomekanismit, plasmaetsaus, ohutkalvot.,CVD.

Sähköäjohtavat polymeerit, joitain mikroelektroniikan analyysimenetelmiä: SEM, TXRF, SIMS.

Esitietovaatimukset

Elektroniikan kemia

Lisätiedot

Luokkahuoneopetusta: h
Laboratoriotöitä:
Harjoitustyö: h
Tentti: h
Opiskelijan itseopiskelu (kuormittavuusanalyysi tehty): h
Yhteensä: h