Kaasufaasipinnoitus (3op)
Opintojakson tunnus: TQ00AA62
Opintojakson perustiedot
- Laajuus
- 3 op
Osaamistavoitteet
Opiskelija tietää, miten pinnoitteet muodostuvat kaasufaasista ja pinnoitteen ominaisuuksiin vaikuttavat tekijät. Hän tuntee pääpiirteittäin yleisimmät kaasufaasipinnoitusmenetelmät ja kaasufaasimenetelmillä valmistettujen pinnoitteiden sovellusmahdollisuudet ja rajoitukset. Opiskelija oppii myös tyhjötekniikan perusteita.
Opintojakson suoritettuaan opiskelija osaa arvioida kaasufaasipinnoituksen käyttökelpoisuutta erilaisiin pinnoitustarpeisiin ja pystyy valitsemaan tarkoituksenmukaisen pinnoitusmenetelmän perus- ja pinnoitemateriaalin sekä vaadittavien pinnoiteominaisuuksien perusteella.
Sisältö
Kemiallisen ja fysikaalisen kaasufaasipinnoituksen perusperiaatteet ja sovellusmahdollisuudet. Fysikaalisella menetelmällä valmistettavien pinnoitteiden ydintyminen, kasvu ja tartunta. Höyrystys- ja sputterointipinnoituksen, ionipäällystyksen, ionisuihkuavusteisen sekä kaaripurkauspinnoituksen periaatteet. Kaasufaasimenetelmillä valmistettujen pinnoitteiden keskeiset ominaisuudet. Tyhjöpumppujen perustyypit, tyhjökammion kontaminaatiolähteet.
Ioni-implantointi, erilaiset DLC-kalvotyypit.
Esitietovaatimukset
Pintakäsittelyn perusteet
Lisätiedot
Luennot, laskuharjoitukset, laboraatiot, harjoitustyöt, tentti, itseopiskelu.